执行器、光扫描器以及图像形成装置.pdf

1、(10)申请公布号 CN 101968568 A(43)申请公布日 2011.02.09CN101968568A*CN101968568A*(21)申请号 201010526257.2(22)申请日 2007.10.182006-285450 2006.10.19 JP200710167130.4 2007.10.18G02B 26/08(2006.01)G02B 26/10(2006.01)H02N 2/14(2006.01)(71)申请人精工爱普生株式会社地址日本东京(72)发明人沟口安志(74)专利代理机构中科专利商标代理有限责任公司 11021代理人汪惠民(54) 发明名称执行器、光扫

2、描器以及图像形成装置(57) 摘要本发明公开一种执行器、光扫描器和图像形成装置，其中电源电路(5)具有：第一电压发生部(51)，其发生以第一频率周期性变化的第一电压(V11、V12)；第二电压发生部(52)，其发生以不同于第一频率的第二频率周期性变化的第二电压(V21、V22)；和电压叠加部(53)，其叠加第一电压V11、V12和第二电压V21、V22，并将用电压叠加部(53)叠加后的电压施加给各压电元件(41、42、43、44)，从而使质量部围绕沿着支撑该质量部的1对弹性部的第一轴线以第一频率进行转动、且围绕预第一轴线正交的第二轴线以第二频率进行转动，从而不仅能够实现低成本和小型化，而且能够

3、使质量部围绕彼此正交的2轴的各轴进行转动。(30)优先权数据(62)分案原申请数据(51)Int.Cl.(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请权利要求书 3 页 说明书 10 页 附图 7 页CN 101968568 A 1/3页21.一种执行器，具有：振动部，其具有质量部和支撑所述质量部的1对弹性部；支撑部，其对所述振动部进行支撑；第1梁部以及第2梁部，其相对于所述质量部位于一侧，并且连结所述振动部和所述支撑部；第3梁部以及第4梁部，其相对于所述质量部位于与所述一侧相反的一侧，并且连结所述振动部和所述支撑部；第1压电元件，其位于所述第1梁部；第2压电元件，其位于所述第2梁部

4、；第3压电元件，其位于所述第3梁部；第4压电元件，其位于所述第4梁部；以及电压施加部，其对所述各压电元件施加电压，所述电压施加部，产生基于以第一频率周期性变化的第一电压的电压、以及以不同于所述第一频率的第二频率周期性变化的第二电压，并将基于所述第一电压的电压与基于所述第二电压的电压叠加，且将所述叠加后的电压施加于所述各压电元件，从而使所述质量部一边围绕沿着所述1对弹性部的第一轴线以所述第一频率进行转动，一边围绕与所述第一轴线正交的第二轴线以所述第二频率转动。2.根据权利要求1所述的执行器，其特征在于，所述电压施加部，产生所述第一电压以及使所述所述第一电压相位超前180的第三电压，并将把所述第一

5、电压和基于所述第二电压的电压叠加后的电压施加于所述第一压电元件和第二压电元件，并将把所述第三电压和基于所述第二电压的电压叠加后的电压施加于所述第三压电元件和所述第四压电元件。3.根据权利要求2所述的执行器，其特征在于，所述电压施加部，产生所述第二电压以及相对于规定电压使所述第二电压的电压值反转的第四电压，并在所述第一压电元件施加将所述第一电压和所述第二电压叠加后的电压，在所述第二压电元件施加将所述第一电压和所述第四电压叠加后的电压，在所述第三压电元件施加将所述第三电压和所述第二电压叠加后的电压，在所述第四压电元件施加将所述第三电压和所述第四电压叠加后的电压。4.根据权利要求1所述的执行器，其特

6、征在于，所述振动部具有框体，所述框体介由所述各梁部由所述支撑部所支撑，并且介由所述1对弹性部支撑所述质量部，并以包围所述质量部的外周的方式形成为框状。5.根据权利要求1所述的执行器，其特征在于，所述质量部形成为板状，在俯视所述质量部时，所述第1梁部和所述第4梁部以相对于所述质量部的中心成为点对称的方式定位，所述第2梁部和所述第3梁部以相对于所述质量部的中心成为点对称的方式定位。6.根据权利要求1所述的执行器，其特征在于，所述各梁部形成为长条形状，所述各压电元件沿着对应的所述梁部的长边方向延伸，且在其延伸方向上伸缩，由此使所述梁部弯曲变形。权 利 要 求 书CN 101968568 A 2/3页

7、37.根据权利要求6所述的执行器，其特征在于，所述各梁部与所述第一轴线平行地延伸。8.根据权利要求1所述的执行器，其特征在于，所述各压电元件，横跨对应的所述梁部的长边方向上的大致整个区域而设置。9.根据权利要求1所述的执行器，其特征在于，所述第一频率比所述第二频率大。10.根据权利要求1所述的执行器，其特征在于，所述第一频率，与由所述质量部和所述弹性部构成的振动系统的扭转共振频率一致。11.根据权利要求1所述的执行器，其特征在于，所述质量部，具备：具有光反射性的光反射部。12.一种光扫描器，其特征在于，具有：振动部，其具有质量部和支撑所述质量部的1对弹性部，其中，所述质量部具备具有光反射性的光

8、反射部；支撑部，其对所述振动部进行支撑；第1梁部以及第2梁部，其相对于所述质量部位于一侧，并且连结所述振动部和所述支撑部；第3梁部以及第4梁部，其相对于所述质量部位于与所述一侧相反的一侧，并且连结所述振动部和所述支撑部；第1压电元件，其位于所述第1梁部；第2压电元件，其位于所述第2梁部；第3压电元件，其位于所述第3梁部；第4压电元件，其位于所述第4梁部；以及电压施加部，其对所述各压电元件施加电压，所述电压施加部，产生基于以第一频率周期性变化的第一电压的电压、以及以不同于所述第一频率的第二频率周期性变化的第二电压，并将基于所述第一电压的电压与基于所述第二电压的电压叠加，且将所述叠加后的电压施加于

9、所述各压电元件，从而使所述质量部一边围绕沿着所述1对弹性部的第一轴线以所述第一频率进行转动，一边围绕与所述第一轴线正交的第二轴线以所述第二频率转动。13.一种图像形成装置，其特征在于，具有：振动部，其具有质量部和支撑所述质量部的1对弹性部，其中，所述质量部具备具有光反射性的光反射部；支撑部，其对所述振动部进行支撑；第1梁部以及第2梁部，其相对于所述质量部位于一侧，并且连结所述振动部和所述支撑部；第3梁部以及第4梁部，其相对于所述质量部位于与所述一侧相反的一侧，并且连结所述振动部和所述支撑部；第1压电元件，其位于所述第1梁部；权 利 要 求 书CN 101968568 A 3/3页4第2压电元件

10、，其位于所述第2梁部；第3压电元件，其位于所述第3梁部；第4压电元件，其位于所述第4梁部；电压施加部，其对所述各压电元件施加电压；以及光照射机构，其将光照射到所述光反射部，所述电压施加部，产生基于以第一频率周期性变化的第一电压的电压、以及以不同于所述第一频率的第二频率周期性变化的第二电压，并将基于所述第一电压的电压与基于所述第二电压的电压叠加，且将所述叠加后的电压施加于所述各压电元件，从而使所述质量部一边围绕沿着所述1对弹性部的第一轴线以所述第一频率进行转动，一边围绕与所述第一轴线正交的第二轴线以所述第二频率转动。权 利 要 求 书CN 101968568 A 1/10页5执行器、 光扫描器以

11、及图像形成装置0001 本发明是基于申请号为200710167130.4、申请日为2007年10月18日、明名称为“执行器、光扫描器以及图像形成装置”的发明专利申请的分案申请。技术领域0002 本发明涉及执行器(actuator)、光扫描仪以及图像形成装置。背景技术0003 作为在激光打印机等中所使用的光扫描器，公知有通过微细加工(micro machining)技术对Si基板进行加工而制造了的、采用了具有扭振子的结构体的光扫描器。采用了这种结构体的光扫描器具有能够比多边形反射镜(-)更高速地进行光扫描的优点。0004 例如，专利文献1所涉及的执行器，将板状的反射镜通过1对弹簧部来双夹持支撑，

12、各弹簧部在其中途分支，在其分支部分设置有压电体。在这样的执行器中，通过对各压电体施加电压，从而一边使分叉部分弯曲变形而使1对弹簧部整体扭曲()变形，一边使反射镜转动。0005 然而，在这样的执行器中，仅仅将沿着1对弹簧部的1轴作为转动中心轴而使反射镜转动。因此，当将这样的执行器用作光扫描器时，只能在主扫描或副扫描的某一个方向上扫描光。因而，为了进行主扫描及副扫描，需要两个执行器，导致高成本和大型化。0006 专利文献1：特开2004-191953号公报发明内容0007 本发明的目的在于，提供一种不仅能够实现低成本和小型化，而且能够使质量部围绕彼此正交的2轴的各轴进行转动的执行器、光扫描器以及图

13、像形成装置。0008 通过下述的本发明，达到这样的目的。0009 本发明的执行器，具有：振动部，其具有质量部和支撑所述质量部的1对弹性部；至少1对梁部，其支撑所述振动部；压电元件，其接合在所述各梁部上；电压施加机构，其对所述各压电元件施加电压，并构成为，通过所述电压施加机构对所述各压电元件施加电压，从而使所述各梁部弯曲变形，并与此相伴地驱动所述振动部，所述电压施加机构，具有：第一电压发生部，其产生以第一频率周期性变化的第一电压；第二电压发生部，其产生以不同于所述第一频率的第二频率周期性变化的第二电压；和电压叠加部，其叠加所述第一电压与所述第二电压，通过将用所述电压叠加部叠加后的电压施加于所述各

14、压电元件，从而使所述质量部一边围绕沿着所述1对弹性部的第一轴线以所述第一频率进行转动，一边围绕与所述第一轴线正交的第二轴线以所述第二频率进行转动。0010 由此，不仅能够实现低成本和小型化，而且能够使质量部围绕彼此正交的2轴的各轴进行转动。0011 在本发明的执行器中，优选为，所述电压施加机构，构成为：所述第一电压发生部说 明 书CN 101968568 A 2/10页6产生相位彼此偏移了180的两种所述第一电压，所述电压叠加部叠加所述各第一电压和所述第二电压，将用所述电压叠加部叠加后的2个电压，与1对的所述压电元件相对应地进行施加。0012 由此，能够以比较简单的结构使质量部一边围绕沿着一对

15、弹性部的第一轴线以第一频率进行转动、一边围绕第二轴线以第二频率进行转动。0013 在本发明的执行器中，优选为，所述振动部具有框体，所述框体被所述至少一对梁部支撑，并且介由所述1对弹性部支撑所述质量部，并以包围所述质量部的外周的方式形成为框状。0014 由此，能够以更低电力且更顺利地使使质量部一边围绕沿着一对弹性部的第一轴线以第一频率进行转动、一边围绕第二轴线以第二频率进行转动。0015 在本发明的执行器中，优选为，将所述梁部，夹置着所述振动部，在所述振动部两侧分别设置1对。0016 由此，能够更顺利地使使质量部一边围绕沿着一对弹性部的第一轴线以第一频率进行转动、一边围绕第二轴线以第二频率进行转

16、动。0017 在本发明的执行器中，优选为，所述质量部形成为板状，并设置为：在俯视所述质量部时使所述2对梁部相对于所述质量部的中心成为点对称。0018 由此，能够以更简单的结构且更顺利地使质量部一边围绕沿着一对弹性部的第一轴线以第一频率进行转动、一边围绕第二轴线以第二频率进行转动。0019 在本发明的执行器中，优选为，所述各梁部形成长方形形状，所述各压电元件沿着对应的所述梁部的长边方向延伸，且在其延伸方向上伸缩，由此使所述梁部弯曲变形。0020 由此，能够以更低电压且更大的转动角使质量部一边围绕沿着一对弹性部的第一轴线以第一频率进行转动、一边围绕第二轴线以第二频率进行转动。0021 在本发明的执

17、行器中，优选为，所述各梁部与所述第一轴线平行地延伸。0022 由此，不仅能够实现执行器的小型化，而且能够加大质量部的转动角。0023 在本发明的执行器中，优选为，所述各压电元件，横跨对应的所述梁部的长边方向上的大致整个区域而设置。0024 由此，不仅能够实现执行器的小型化，而且能够加大质量部的转动角。0025 在本发明的执行器中，优选为，所述第一频率比所述第二频率大。0026 由此，能够更可靠且更顺利地使质量部一边围绕沿着一对弹性部的第一轴线以第一频率进行转动、一边围绕第二轴线以第二频率进行转动。0027 在本发明的执行器中，优选为，所述第一频率，与由所述质量部和所述振动部构成的振动系统的扭转

18、共振频率一致。0028 由此，由于能够使质量部围绕沿着一对弹性部的第一轴线进行共振驱动，因此能够以低电力大幅度转动质量部。0029 在本发明的执行器中，所述质量部优选具备具有光反射性的光反射部。0030 由此，能够将本发明的执行器适用于光扫描器、光开关、光增益控制器等光学设备中。0031 本发明的光扫描器具有：振动部，其具有质量部和支撑所述质量部的1对弹性部，其中，所述质量部具备具有光反射性的光反射部；说 明 书CN 101968568 A 3/10页70032 至少1对梁部，其支撑所述振动部且能够弯曲变形；0033 压电元件，其接合在所述各梁部上；0034 电压施加机构，其对所述各压电元件施

19、加电压，0035 并且构成为，通过所述电压施加机构对所述各压电元件施加电压，使所述各梁部弯曲变形，而与此相伴地驱动所述振动部，从而使由所述光反射部反射后的光进行扫描，0036 所述电压施加机构，具有：第一电压发生部，其产生以第一频率周期性变化的第一电压；第二电压发生部，其产生以不同于所述第一频率的第二频率周期性变化的第二电压；和电压叠加部，其叠加所述第一电压与所述第二电压；将用所述电压叠加部叠加后的电压施加给所述各压电元件，从而使所述质量部一边围绕沿着所述1对弹性部的第一轴线以所述第一频率进行转动，一边围绕与所述第一轴线正交的第二轴线以所述第二频率进行转动。0037 由此，能够用1个光扫描器进

20、行主扫描和副扫描，结果能够实现低成本的小型化。0038 本发明的图像形成装置，具有：动部，其具有质量部和支撑所述质量部的1对弹性部，其中，所述质量部具备具有光反射性的光反射部；至少1对梁部，其支撑所述振动部且能够弯曲变形；压电元件，其接合在所述各梁部上；电压施加机构，其对所述各压电元件施加电压；和光照射部件，其向所述光反射部照射光，并构成为，通过所述电压施加机构对所述各压电元件施加电压，使所述各梁部弯曲变形，而与此相伴地驱动所述振动部，从而使由所述光反射部反射后的光在对象物上形成图像，所述电压施加机构，具有：第一电压发生部，其发生以第一频率周期性变化的第一电压；第二电压发生部，其发生以不同于所

21、述第一频率的第二频率周期性变化的第二电压；和电压叠加部，其叠加所述第一电压和所述第二电压，将用所述电压叠加部叠加后的电压施加给所述各压电元件，从而使所述质量部一边围绕沿着所述1对弹性部的第一轴线以所述第一频率进行转动，一边围绕与所述第一轴线正交的第二轴线以所述第二频率进行转动。0039 由此，能够用1个光扫描器进行主扫描和副扫描，结果能够实现低成本的小型化。附图说明0040 图1是表示与本发明的实施方式相关的执行器的俯视图。0041 图2的(a)是图1中的A-A线剖视图、(b)是图1中的B-B线剖视图。0042 图3是图1中的C-C线剖视图。0043 图4是表示图1所示的执行器的控制系统的结构

22、的框图。0044 图5是表示图4所示的第一电压发生部和第二电压发生部中的发生电压的一个例子的图0045 图6是表示本发明的图像形成装置(成像显示器)的一个例子的概略图。0046 图7是表示图6所示的图像形成装置的控制系统的结构的框图。0047 图中：1-执行器；2-基体；21-振动部；211-质量部；212、213-弹性部；214-框体；215-光反射部；22、23、24、25-梁部；26-支撑部；3-支撑基板；31-开口部分；41、42、43、44-压电元件；5-电源电路；51-第一电压发生部；52-第二电压发生部；53-电压叠加部；531、532、533、534-加法器；6、6A-控制部；

23、7-光照射装置；71、72、73-光源；74-交叉二向色棱镜()；75-反射镜；76-透镜；81、82、83-驱动驱动器；说 明 书CN 101968568 A 4/10页89-屏幕；10-图像形成装置；X-第一轴线；Y-第二轴线。具体实施方式0048 以下，参照附图，对本发明的执行器(一：actuator)的优选实施方式进行说明。0049 图1是表示与本发明的实施方式相关的执行器的俯视图，图2是图1中的A-A线剖视图以及B-B线剖视图，图3是图1中的C-C线剖视图，图4是表示图1所示的执行器的控制系统的结构的框图，图5是表示图4所示的第一电压发生部和第二电压发生部中的发生电压的一个例子的图，

24、图6是表示对图1所示的执行器的各压电元件施加的电压的一个例子的图。此外，以下为了便于说明，将图1中的纸面跟前侧称为“上”、纸面向里侧称为“下”、右侧称为“右”、左侧称为“左”；将图2和图3中的上侧称为“上”、下侧称为“下”、右侧称为“右”、左侧称为“左”。0050 如图1图3所示，执行器1，具有：基体2，其具有包含1自由度振动系统的振动部21；和支撑基体2的支撑基板3。并具有用于驱动基体2的振动部21的压电元件41、42、43、44。0051 基体2具有：包含1自由度振动系统的振动部21；支撑该振动部21的2对梁部22、23、24、25；和支撑部26，其介由这些梁部22、23、24、25支撑振

25、动部21。0052 振动部21具有：质量部211；双夹支撑该质量部211的1对弹性部212、213；和支撑1对弹性部212、213的框体214。0053 质量部211，形成为板状(在本实施方式中圆板状)，在其上面(与支撑基板3相反一侧的面)附近具备具有光反射性的光反射部(反射镜部)215。藉此，能够将执行器1适用于光扫描器、光增益控制器(一：attenuator)、光开关等光设备中。0054 这样的质量部211介由1对弹性部212、213被框体214支撑。0055 框体214按照包围质量部211的外周的方式形成框状(在本实施方式中大致四边环状)。也就是框体214形成框状，在其内侧以相对于质量部

26、211离开的状态设置有质量部211。0056 1对弹性部212、213分别按照使质量部211相对于框体214可旋动的方式联结。更具体而言，1对弹性部212、213能够弹性变形，各自形成长方形形状，并且以彼此同轴的方式设置，并且对质量部211进行双夹支撑。这样的1对弹性部212、213，通过以它们为转动中心轴而围绕第一轴线X扭曲变形，能够使质量部211相对于框体214转动。也就是说，振动部21具有由质量部211和1对弹性部212、213构成的1自由度振动系统。0057 这样的振动部21的框体214，介由2对梁部22、23、24、25而被支撑部26支撑。也就是框体214和2对梁部22、23、24、

27、25构成振动系统。0058 关于2对梁部22、23、24、25，介由振动部21，在一方侧设置1对梁部22、23，而在另一方侧设置一对梁部24、25。0059 并且，这些梁部22、23、24、25，设置为在俯视振动部21的质量部211时，相对于质量部211的中心成为点对称。0060 支撑部26形成为包围上述的振动部21的外周。0061 并且，1对梁部22、23分别联结振动部21(更具体而言，框体214)与支撑部26。与说 明 书CN 101968568 A 5/10页9此同样，1对梁部24、25分别联结振动部21(更具体而言，框体214)与支撑部26。0062 各梁部22、23、24、25能够弹

28、性变形，具有长方形形状，并且与质量部211的转动中心轴X平行地延伸。在这样的2对梁部22、23、24、25中，通过使梁部22、25与梁部23、24在彼此相反的方向上弯曲变形，能够使框体214围绕第二轴线(转动中心轴)Y进行转动，另外，通过使梁部22、23与梁部24、25在彼此相反的方向上弯曲变形，能够使框体214围绕第一轴线X进行转动。0063 具有这样的振动部21的基体2例如以硅为主材料构成，振动部21和梁部22、23、24、25和支撑部26一体形成。0064 并且，为了驱动这样的振动部21，在梁部22上设置有压电元件41，在梁部23上设置有压电元件42，在梁部24上设置有压电元件43，在梁

29、部25上设置有压电元件44。0065 在此，压电元件41、42与压电元件42、43如同上述的1对梁部22、23与1对梁部24、25之间的关系，设置为在俯视振动部21的质量部211时相对质量部211的中心成为点对称。以下，以压电元件41、42为代表进行了详细的描述，对压电元件43、44而言，与压电元件41、42同样。0066 压电元件41构成为接合在梁部22上表面，并且以在梁部22的长边方向上伸缩。由此，压电元件41通过其伸缩，能够使梁部22在上下方向上扭曲变形。另外，压电元件42构成为接合在梁部23上表面，并且在梁部23的长边方向上伸缩。由此，压电元件42通过其伸缩，使梁部23在上下方向上扭曲

30、变形。0067 换言之，压电元件41沿着梁部22的长边方向延伸，并且在其延伸方向上伸缩，从而使梁部22扭曲变形。由此，能够以比较简单的结构，更可靠地由压电元件41使梁部22扭曲变形。与此同样，压电元件42沿着梁部23的长边方向延伸，并且在其延伸方向上伸缩，从而使梁部23扭曲变形。由此，能够以比较简单的结构，更可靠地由压电元件42使梁部23扭曲变形。0068 这样的压电元件41、42虽然均未图示，但是各自例如具有的以压电材料为主材料而构成的压电体层和夹持该压电体层的1对电极。0069 作为该压电材料例如能够采用氧化锌、氮化铝、钽酸锂(酸)、铌酸锂(酸)、铌酸钾(酸)、钛锆酸铅(酸鉛PZT)、钛酸

31、钡(酸)、以及其他各种材料，而且能够组合这些材料中的一种或两种以上，尤其优选压电材料为以氧化锌、氮化铝、钽酸锂、铌酸锂、铌酸钾以及钛锆酸铅中的至少一种为主的材料。通过用这样的材料构成压电元件41的压电体层，能够以更高的频率驱动执行器1。0070 另外，压电元件41设置为覆盖梁部22的大致整个上表面。从而，压电元件41设置于在梁部22的长边方向上的大致整个区域。由此，通过压电元件41的动作，能够使梁部22较大幅度地扭曲变形。与此同样，压电元件42设置为覆盖梁部23的大致整个上面。从而，压电元件42设置于在梁部23的长边方向上的大致整个区域。由此，通过压电元件42的动作，能够使梁部23大幅度扭曲变

32、形。0071 由于这样的压电元件41、42均设置在基体2的上表面，因此如果这样的压电元件41、42按照交替进行相互伸缩动作(一方伸张、另一方收缩)的方式动作，则能够使1对梁部22、23在彼此相反的方向上扭曲变形。说 明 书CN 101968568 A 6/10页100072 压电元件43、44构成为与上述的压电元件41、42同样。由于这样的压电元件43、44与上述的压电元件41、42同样，均置在基体2上表面，因此如果按照交替进行相互伸缩动作(一方伸张、另一方收缩)的方式动作，则能够使1对梁部24、25在彼此相反的方向上扭曲变形。0073 这样的压电元件41、42、43、44，介由未图示的布线，

33、与后面叙述的电源电路4连接(参照图5)，并接受电力供给。此外，对于电源电路5将在后面详细叙述。0074 用于支撑如上所述的基体2的支撑基板3例如以玻璃或硅为主材料构成，并且接合在基体2。此外，支撑基板3和基体2也可介由例如以玻璃、硅或SiO2为主材料构成的接合层而接合。0075 在支撑基板3，如图2和图3所示那样，在对应振动部21的部分形成有开口部分31。0076 该开口部分31，构成了防止在振动部21振动时与支撑基板3接触的避开部分。通过设置开口部分(避开部分)31，一边防止执行器1整体的大型化、一边能够将振动部21(质量部211或框体214)的振动角(振幅)设定成更大。0077 此外，如上

34、所述的避开部分只要是能够充分发挥上述效果的结构，不一定在支撑基板3下表面(与振动部21相反侧的面)开放(开口)。也就是说，避开部分能够由形成于支撑基板3上表面的凹部来构成。0078 在此，根据图4和图5，说明对压电元件41、42、43、44施加电压的电压施加机构即电源电路5。0079 如图4所示，电源电路5，具有：第一电压发生部51，其产生用于使质量部211围绕第一轴线X转动的第一电压；第二电压发生部52，其产生用于使质量部211围绕第二轴线Y转动的第二电压；和电压叠加部53，其将第一电压和第二电压叠加而施加给压电元件41、42、43、44。0080 如图5(a)(d)的右侧所示，第一电压发生

35、部51发生以周期T1周期性变化的电压(水平扫描用电压)。也就是第一电压发生部51发生以第一频率(1/T1)来周期性变化的两种电压V11、V12。0081 更具体而言，第一电压发生部51，发生如图5(a)、(b)的右侧所示那样以周期T1周期性变化的第一电压V11，作为分别施加给压电元件41、42的水平扫描用电压(水平扫描驱动信号)。0082 第一电压V11形成如正弦波这样的波形。因此，执行器1能够有效地主扫描光。此外，第一电压V11的波形不限于此。0083 在此，第一频率(1/T1)只要是适于水平扫描的频率即可，并没有特别限定，但是优选为1040kHz。另外，第一频率优选设定为与由质量部211和弹性部212、213构成的振动系统的扭曲共振频率大致一致。也就是说，优选设计成，由质量部211和弹性部212、213构成的振动系统的扭曲共振频率成为适于水平扫描的频率。0084 另外，第一电压发生部51，产生如图5(c)、(d)的右侧所示那样，以周期T1周期性变化的第一电压V12，作为分别施加给压电元件43、44的水平扫描用电压(水平扫描驱动信号)。该第一电压V12与第一电压V11同一波形，但是相对于第一电压V11相位偏移了180。0085 一方面，如图5(a)(d)的左侧所示，第二电压发生部52，产生以不同于周期T1说 明 书