一种ITO膜片光刻自动识别定位方法.pdf

1、10申请公布号CN102338995A43申请公布日20120201CN102338995ACN102338995A21申请号201110331334322申请日20111027G03F9/00200601G03F7/2020060171申请人东莞市润华光电有限公司地址523795广东省东莞市大朗镇松木山村象山工业园嘉源路17号72发明人周学卿54发明名称一种ITO膜片光刻自动识别定位方法57摘要本发明公开了一种ITO膜片光刻自动识别定位方法，其特征在于有两个紫外光灯光源、两套CCD成像设备及两套成像光学系统装置于掩模版及膜片的下方，两套CCD成像设备通过两套成像光学系统摄取掩模版及膜片底面的

2、左右对准标记，由图像采集卡采集图像数据，输入至计算机中对准标记图像进行处理、定位并实时显示，通过计算机屏幕上显示的掩模版及膜片左右对准标记图像的相对位置误差，调整膜片的位置，从而实现膜片与掩模版自动精确对位，本发明结构简单、操作方便、自动成像清晰精确度达35M、光刻加工质量高。51INTCL19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书1页说明书2页附图1页CN102339008A1/1页21一种ITO膜片光刻自动识别定位方法，其特征在于有两个紫外光灯光源、两套CCD成像设备及两套成像光学系统装置于掩模版及膜片的下方，两套CCD成像设备通过两套成像光学系统摄取掩模版对准标记及膜片对

3、准标记，由图像采集卡采集图像数据，输入至计算机中对准标记图像进行处理、定位并实时显示，通过计算机屏幕上显示的掩模版对准标记及膜片对准标记图像的相对位置误差，调整膜片的位置，从而实现膜片与掩模版自动精确对位。2根据权利要求1所述的一种ITO膜片光刻自动识别定位方法，其特征在于所述掩模版及膜片装在移动平台上，掩模版置于膜片上方；移动平台对应掩模版对准标记及膜片对准标记下面有两个透光小孔，紫外光灯光源穿过小孔照射到对应掩模版对准标记及膜片对准标记，反射光到两套成像光学系统。3根据权利要求1所述的一种ITO膜片光刻自动识别定位方法，其特征在于所述的膜片与掩模版套刻的自动定位步骤是在计算机屏幕上同时显示

4、得到的静态掩模版对准标记图像及动态的膜片对准标记图像，通过工件台调节机构的配合，使动态的膜片左右对准标记图像与静态掩模版左右对准标记图像中心重合即实现了膜片与掩模版光刻的自动精确定位。权利要求书CN102338995ACN102339008A1/2页3一种ITO膜片光刻自动识别定位方法技术领域0001本发明涉及微电子光刻设备技术领域，尤其是用于ITO膜片光刻中自动识别定位方法。背景技术0002随着触摸屏及液晶显示屏行收的不断发展，对ITO薄膜基材性能需求的不断提高，对ITO薄膜的加工方式也出现了改变，现有技术中由于加工设备结构布局问题，导致对ITO薄膜的加工效率低，而光电藕合器件CHARGEC

5、OPLEDDEVICE,CCD技术自问世以来，就具有工作稳定可靠、图像清晰、灵敏度和分辨力高等优点尤其是与计算机图像处理技术相结合后，CCD应用领域更加广泛。所谓CCD光学视觉定位，是利用摄像机镜头进行扫描，再将图像反射过来的光波转化成数位电信号，完成光信号到电信号的转换，由此实现高精密的自动定位，即采用具有图像识别功能的CCD，通过摄像机镜头对基准标记加以识读并处理相关的图像数据，用补偿量进行位置演算，从而达到精确的定位。CCD主要材质为矽晶半导体，透过光电效应，由感光元件表面感应来源光线，从而转换成储存电荷的能力当CCD表面接受到光线照射时，即会将光线的能量转换成电荷，光线越强、电荷也就越

6、多，这些电荷就成为判断光线强弱大小的依据。所以光源的提供对于CCD光学视觉定位的精确度影响重大，现有的灯源一般是由白炽灯、红外线照明装置，但是ITO薄膜对这些光线反射不强，造成CCD感光元件感光不强，只能定位精确到10M，难以满足人们对触屏产品质量日益提高的愿望。发明内容0003本发明为了克服以上现有技术存在的缺点提出的，其所解决的技术问题是提供一种在ITO膜片光刻前实现膜片与掩模自动识别精准定位方法。0004为此，本发明提供了一种ITO膜片光刻自动识别定位方法，其中包括下列步骤将两个紫外光灯光源、两套CCD成像设备及两套成像光学系统装置于掩模版及膜片的下方，两套CCD成像设备通过两套成像光学

7、系统摄取掩模版对准标记及膜片对准标记，由图像采集卡采集图像数据，输入至计算机中对准标记图像进行处理、定位并实时显示，通过计算机屏幕上显示的掩模版对准标记及膜片对准标记图像的相对位置误差，调整膜片的位置，从而实现膜片与掩模版自动精确对位。0005所述掩模版及膜片装在移动平台上，掩模版置于膜片上方；移动平台对应掩模版对准标记及膜片对准标记下面有两个2010MM大的透光小孔，紫外光灯光源穿过小孔照射到对应掩模版对准标记及膜片对准标记，反射光到两套成像光学系统。0006所述的膜片与掩模版套刻的自动定位步骤是在计算机屏幕上同时显示得到的静态掩模版对准标记图像及动态的膜片对准标记图像，通过工件台调节机构的

8、配合，使动态的膜片对准标记图像与静态掩模版对准标记图像中心重合即实现了膜片与掩模版光刻的自动精确定位。说明书CN102338995ACN102339008A2/2页40007本发明使用了紫外光提供CCD镜头灯光源，因为自动定位系统中白色或红色等颜色的灯对ITO膜片的透过率很高，难以识别ITO膜片不能完成自动定位，紫外线颜色的灯对ITO膜片透过率低，所以在自动定位时，ITO膜片留下来的图案就非常清晰，从而很容易就被捕捉，完成光刻前的自动定位。0008本发明的有益效果为使用CCD自动成像设备并用紫外光灯提供光源，结构简单，图案清晰，能够精确自动定位光刻ITO膜片，提高了加工质量。附图说明0009下

9、面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步详细的说明。0010图1为本发明的结构原理图。0011图2为本发明的一实施例中的掩模标记与膜片标记的显示状态说明图。0012附图符号说明1为紫外光灯光源、2为成像光学系统、3为CCD成像设备、4为掩模版、5为膜片、6为掩模版对准标记、7为膜片对准标记、8为图像采集卡、9为计算机、10为移动平台、11为小孔。具体实施方式0013如图1、2所示，一种ITO膜片光刻自动识别定位方法，其中包括下列步骤将两个功率为35W、波长为365NM紫外光灯光源1、两套CCD成像设备3及两套成像光学系统2装置于掩模版4及覆有光刻胶的ITO膜片5的下方，两套CCD成像设备2

10、通过两套成像光学系统3摄取掩模版对准标记6及膜片对准标记7，由图像采集卡8采集图像数据，输入至计算机9中对准标记图像进行处理、定位并实时显示，通过计算机9屏幕上显示的掩模版对准标记6及膜片对准标记7图像的相对位置误差，调整膜片5的位置，从而实现膜片5与掩模版4套刻自动精确对位。0014所述掩模版4及膜片5装在移动平台10上，掩模版4置于膜片5上方；移动平台10对应掩模版4及膜片5左右掩模版对准标记6及膜片对准标记7，移动平台10下面有两个2010MM大的透光小孔11，紫外光灯1光源穿过小孔11照射到对应掩模版对准标记6及膜片对准标记7，反射光到两套成像光学系统3。0015本发明的具体实现步骤如

11、下在安放覆有光刻胶的ITP膜片5之前，通过两路成像光学系统2和CCD成像设备3分别获取静态掩模版对准标记6，并经过适当处理后由计算机9储存起来，包括储存图像及其位置数据。0016将覆有光刻胶的ITP膜片5放入移动平台10上，通过调焦可获取动态膜片对准标记7，此时虽然因为膜片5挡光不能同时获取掩模版对准标记6，但由于模版对准标记6图像及其位置数据在之前已经被保存下来，所以在计算机9屏幕上同时显示得到的静态掩模版对准标记6图像及动态的膜片对准标记7图像。0017通过移动平台10调节机构的配合，使动态的膜片对准标记7图像与静态掩模版对准标记6图像十字中心重合即实现了膜片5与掩模版4光刻的自动精确定位。0018根据如上所述的本发明的一种ITO膜片光刻自动识别定位方法，可以实现膜片5与掩模版4光刻的自动精确定位，精确度达35M，提高ITO膜片5光刻质量，增加了生产的效益。说明书CN102338995ACN102339008A1/1页5图1图2说明书附图CN102338995A